• - CO2 karışımlı Etilenoksit gazı;
• - Tıpta, sterilizasyonda;
• - Optik aletlerin sterilizasyonunda;
• - Isıya karşı duyarlı malzemeler ile Talk tozu ve toprak gibi ısı yalıtan malzemelerin sterilizasyonunda

Not :

Hava ile birleşiminde yanıcı olmayan özelliğini sağlamak için, asal gazlar, CO2 ve halokarbonlar ile karışım halinde kullanılır.